概要 - FDSOI 技術は、平面集積の簡便さを維持しながら、調整可能で優れた静電特性を持つトランジス タの利点を提供する、代替的なデバイス・スケーリング経路として提案されてきた。新しいデバイスタイプと集積素子は、この技術のライフサイクル全体にわたって、デバイスとプロセスの特性評価とモニタリングに課題をもたらしました。この論文では、FDSOI 技術を量産に移行させるための高速サイクルタイム電気特性評価の成功例を紹介する。
キーワード：FDSOI、技術開発、歩留まり向上
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