概要 - ジオメトリの微細化に伴い、プロセス・ウィンドウにわたってロバストなOPCの導入はますます困難になってきている。この課題は、新製品の市場投入までの時間と歩留まりに大きな影響を与えます。本論文では、合理化されたOPC検証手法を用いたリソシミュレータのキャリブレーションフローについて説明します。この新しい方法は、設計と製造の橋渡しに成功し、OPC開発プロセスを加速させ、歩留まりを低下させる可能性のある弱いOPC箇所を積極的に特定します。この手法には、自動的に取得された「オンシリコン」測定データを使用した正確なシミュレータ・キャリブレーションと、キャリブレーションされたモデルを使用したフルチップ・リソ・シミュレーションが含まれ、製品上の潜在的なホットスポットを特定します。また、この手法により、OPCモデル生成への短いサイクルでのフィードバックループが可能になり、OPCの最適化と検証が改善されました。
キーワードOPC、DFM、ホットスポット、CV、特性評価車、歩留まり