「ルールアンサンブルを用いた歩留まりモデリング」、Advanced Semiconductor Manufacturing Conference、2007年
ABSTRACT: 本論文では、ルール・アンサンブルと呼ばれる新しい統計的モデリング・アルゴリズムの歩留まり損失特性評価問題への応用を紹介する。収量損失モデリングは回帰または分類問題として捉えられ、モデルはデータから導かれた単純なルールの線形結合として構築される。これらのルール・アンサンブルは、最良の手法に匹敵する予測モデルを生成することが示されている。しかし、精度が高いだけでなく、これらのルールは理解しやすい。同様に、各ルールの関連性の程度と、それぞれの変数を評価することができる。また、このアルゴリズムは、他の変数との相互作用に関与する変数、およびそれらの相互作用の強さと程度を自動的に識別するための方法論を提供する。本手法の解釈上の利点を説明するために、半導体製造データの分析を行う。
キーワード収量モデリング、予測学習、決定木