プロセス制御

パワフルで効率的なファブ中心モデル

PDF Solutionsは、工場モデリングに独自のトップダウンアプローチを採用しています。当社の工場中心のプロセス制御アプローチは、DEX（データ交換ネットワーク）を介して自動的に収集・統合されるフロントエンドとバックエンドの両方のデータを活用し、強力なシグネチャー分析と診断を提供します。このアプローチにより、「ツールごと」の分散展開に対してより効率的な展開が可能になり、ツールおよび工場レベルでの意思決定と制御が可能になります。

エクスカージョン診断とバリアビリティ・コントロール

FDCツールセンサーレベル診断とドリルダウンによるエクスカーションイベントの自動検出により、プロセスおよび計測シフト、パラメトリックドリフト、予防保全、消耗品イベント検出を実行。

変動率低減

歩留まり、デバイスパラメトリック、計測のためのツールコントロール（ダイナミックSPC）へのフィードバックを行う応答相関を駆動する高度な診断によるワンステップパラメータスクリーニング

プロセス制御のクイックハイライト

• 従来のFDC機能
• 既存のセンサーコレクターを使用するか、当社のセンサーコレクターを使用する。
• オフラインでのモデル作成とシミュレーション
• 設定のバージョニング
• リアルタイム・インタラクティブ・レポート
• OCAP（制御不能行動計画）アラーム
• オンラインSPC
• 承認ループ
• サマリーとリアルタイムのFDCデータを組み合わせる

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