プロセス制御

強力で効率的なファブセントリックモデル

PDF Solutions has a unique top-down approach to fab modeling. Our fab-centric process control approach leverages both front-end and back-end data that is automatically collected and integrated via DEX (data exchange network) to provide powerful signature analysis and diagnostics. This approach enables more efficient deployment versus a “per tool” distributed deployment and enables decision and control at the tool and factory level.

エクスカーション診断と変動制御

FDCツールセンサーレベルの診断とドリルダウンによる遠足イベントの自動検出と、プロセスおよび計測シフト、パラメトリックドリフト、予防保守、および消耗品イベントの検出を実行します。

変動低減

歩留まり、デバイスのパラメトリック、および計測のための応答制御をツール制御（動的SPC）へのフィードバックに駆動する高度な診断機能を備えたワンステップパラメータースクリーニング

プロセス制御のハイライト

• 従来のFDC機能
• 既存のセンサーコレクターを使用するか、当社のセンサーコレクターを使用してください
• オフラインモデルの作成とシミュレーション
• 構成のバージョン管理
• リアルタイムのインタラクティブレポート
• OCAP（制御不能アクションプラン）アラーム
• オンラインSPC
• 承認ループ
• 要約データとリアルタイムFDCデータを組み合わせる

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