発表論文

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IEEE JEDS 2019 - 新興メモリの特性を評価するショートフローテストアレイの設計と測定要件

Characterization

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Parametric Test

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EDTM 2019 - 7nm以下における歩留まりと信頼性の課題

Characterization

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Design for Manufacturing

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EDTM 2019 - 新興メモリの特性を評価するショートフローテストアレイの設計と測定要件

Characterization

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Emerging Memories

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IEEE Transactions 2015 - FinFET技術特性評価のためのコンタクトチェーン

Yield Management

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Characterization

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AEC/APC Symposium Asia 2009 - ロバスト計量予測モデルのオンライン展開

FDC

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Yield Management

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SPIE 2009 - 生き残るためのシンプル化、規定レイアウトが32nm以降のスケーリングで利益を確保

Yield Management

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Design for Manufacturing

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SPIE 2009 - レギュラーデザインファブリックを用いたOPCの簡素化とマスクコスト削減

Yield Management

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Design for Manufacturing

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ISSM 2008 - FDCデータによるBEOLパラメトリック変動制御

Yield Management

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FDC

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Predictive Learning

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IEEE Transactions 2008 - ナノメートルスケール技術におけるトランジスタの性能とリークのばらつき

Yield Management

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Characterization

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Design for Manufacturing

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ASMC 2007 - ルール・アンサンブルによる降伏モデリング

Yield Management

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Predictive Learning

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ICMTS 2006 - 超高速製品ウェハ歩留まりモニタリング用スクライブ特性評価ビークルテストチップ

Yield Management

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Characterization

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ISSM 2006 - ホットスポット解析のためのリソシミュレータの高速かつ正確な校正方法

Design for Manufacturing

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Yield Management

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Characterization